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光刻机
先睹为快 / 04月30日 16:03 发布
光刻机产业链梳理
一零部件部件
1、光源
波长光电：光刻机平行光源系统
福品科技：提供激光器上的KBFF晶体，中科院旗下
茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机
2、光学器件
苏大维格：向提供光刻机用的定位光栅产品
炬光科技：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器
腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链
京华激光：控股美国公司在光刻机微结构光学方面实力较强
3、空气净化
美埃科技：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单
4、物镜
赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商
5、结构件
富创精密：半导体零部件营收规模A股第一，为12.9亿
新莱应材：半导体零部件营收规模A股第二，为7.1亿
金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理，子公司是供应商
电科数字：子公司可供货光刻机控制器
二整机
1、
张江高科：持股10.779%的股份
上海电气：母公司为第一大股东
2、长春光机所
奥普光电：长春光机所为公司实际控制人
公安备案号 51010802001128号