在芯片制造的庞大产业链中，光刻机处于金字塔尖位置，其技术的先进程度，直接决定了芯片制造的工艺水平。而在光刻机复杂的系统中，光源和物镜系统又占据着核心地位。下面，我们将深入剖析这两大系统，并梳理相关核心企业。

复杂精密的光刻机系统

光刻机堪称集多项顶尖技术于一体的复杂设备，由光源、物镜、工件台、掩模台等多个子系统组成。这些子系统相互协作，缺一不可，其中光源、物镜和工件台系统更是重中之重，对光刻机的性能起着决定性作用。

光源系统：光刻机的 “能量心脏”

光源系统是光刻机的核心部件，其主要功能是产生高能量、高稳定性的曝光光束，将掩模版上的电路图案通过光学系统精确投射到硅片的光刻胶上。光源的波长决定了光刻机的工艺节点，波长越短，分辨率越高。

当下，主流的光源为 DUV 深紫外和 EUV 极紫外。EUV 光源波长 13.5nm，能够实现 7nm 及以下制程，极大地推动了芯片制造技术向更先进水平发展。光源系统一般由激光发生器、光束整形系统、波长转换模块等组成，价值约占光刻机总成本的20%-30%。EUV 光源技术难度极高，涉及精密的光学控制和能量管理，目前全球仅有少数企业掌握，技术和市场垄断性强。

物镜系统：光刻机的 “精密之眼”

物镜系统的作用是将掩模版上的图案按比例缩小并精准投影到硅片上，其成像质量直接影响光刻机的分辨率和套刻精度，进而决定芯片制造的精度和良率。

EUV 光刻机采用全反射式光学系统，对镜面粗糙度要求达到原子级，制造难度超乎想象。物镜系统由多组精密透镜、反射镜、对焦系统等构成，价值占光刻机总成本的 30%-40%。其制造过程涉及超精密加工、纳米级测量等尖端技术，单套物镜系统价值可达数千万美元。

光源和物镜领域4核心企业

奥普光电：背靠科研巨头的潜在力量

奥普光电作为中科院光机所唯一控股上市平台，大股东中科院长春光机所持股 42.4%。公司业务分为复合材料、光电测控仪器和光栅传感器三大板块。

虽然奥普光电本身不生产光刻机相关设备，但长春光机所在光刻机曝光系统研发上成果卓著。2002 年，研制出国内第一套 EUV 光刻原理装置；2016 年，成功研制两镜 EUV 光刻物镜系统；2017 年，90 纳米光刻机曝光系统在整机环境下通过验收测试。奥普光电业绩整体较为稳定，不过 2024 年扣非净利小幅下降 13%。

茂来光学：工业级精密光学的佼佼者

茂来光学是国内领先的工业级精密光学供应商，产品包括精密光学器件、光学镜头和光学系统。在其业务结构中，半导体业务增长迅速，占比达五成。

在光源和物镜系统方面，茂来光学均有布局。在光源相关的照明系统上，高精度光学器件加工与检测技术研究已进入工艺设计阶段，技术国内领先。在物镜系统上，实现了光刻机投影物镜、匀光模块及位移测量棱镜组件的国产化供应，产品应用于 365nm 的 i 线光刻机。

业绩方面，除了半导体外的传统业务受经济周期影响较大，不过整体上还较为稳定。2024 年，扣非净利小幅增长 8%。

福晶科技：全球激光晶体的领军者

福晶科技由中科院福建物质结构研究所于 1990 年成立，是全球最大的 LBO、BBO 晶体供应商，全球市占率接近 80%。公司业务涵盖晶体元器件、精密光学元件等四大板块。

在光刻机领域，福晶科技曾通过欧洲代理向 ASML 提供少量光学元件。控股子公司福创光电生产的 LBO、BBO 等非线性光学晶体，可为光刻机光源系统提供支持；子公司至期光子研发的纳米级超精密光学产品，或为物镜系统研发提供技术支持和产品配套。

业绩方面，以技术为主导的国企经营风格稳健，净利润常年较为稳定。据业绩快报，2024年扣非净利小幅增长11%。

麦克奥迪：借实控人资源涉足光刻机领域

麦克奥迪业务横跨输配电设备、显微镜和医疗诊断产品三大板块。尽管公司本身没有光刻机业务，但实控人北京亦庄国投在半导体领域投资成就突出。

亦庄国投作为国望光学（负责光刻机物镜组）的第一大股东和科益虹源（负责光刻机光源系统）的第二股东，推动了国产光刻机核心部件的研发和产业化。国望光学实现了从 90nm 到 28nm 及以下节点的 ArF/KrF 浸没式光刻物镜系统量产，科益虹源掌握 193nm/248nm 准分子激光核心技术，产品已配套等国产光刻机厂商。麦克奥迪业绩近两年有所波动，2024 年前三季，扣非净利基本与前年持平。

结语

光刻机的光源和物镜系统代表了人类在光学和精密制造领域的顶尖技术水平。上述四家企业，从不同角度切入这一领域，尽管面临诸多挑战，但也为我国光刻机技术的自主发展带来了希望。需要强调的是，本文仅为科普梳理，不构成投资建议，大家在关注相关企业时需理性、全面地进行分析。赛道投研