26亿！天价光刻机，正式投产

就在上周，英特尔砸下26亿人民币，把ASML最新款的High NA EUV光刻机搬进了自家工厂！这可不是普通的机器，它高得能塞满一间会议室，每小时能“打印”185片晶圆，一个季度就能吐出3万片，直接塞进几千颗芯片。

更夸张的是，它能把原本需要三次曝光、40道工序的活儿，硬生生压缩到一次曝光、几步搞定，活脱脱像个“芯片制造界的闪电侠”。

但英特尔为啥要下这么大血本？说白了，这26亿不光是买设备，更是买一张“弯道超车”的入场券。

要知道，过去七年英特尔因为拖延部署上一代EUV光刻机，硬生生被台积电甩开身位。

整机

张江高科：持股微电子10.779%的股份；

上海电气：母公司为第一大股东；

东方明珠：通过间接持股

奥普光电：长春光机所为公司实际控制人，长春光机所生产光刻机。

光源

波长光电：光刻机平行光源系统；

茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机；

福晶科技：全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商。

光学器件

腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链；

苏大维格：向提供光刻机用的定位光栅产品；

炬光科技：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器；

京华激光：控股国外公司在光刻机微结构光学方面实力较强；

晶方科技：下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。

洁净设备

蓝英装备：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户；

美埃科技：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单；

国林科技：产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。

温控

海立股份：微电子装备集团的系统级合作商

同飞股份：液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制

物镜

赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。

控制器

电科数字：子公司可供货光刻机控制器。

结构件

金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理；子公司是供应商。

维修服务

东方嘉盛：提供光刻机寄售维修服务。