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大张 / 2023-07-16 15:30 发布
坚定看好大陆光刻机产业链!? 事件:7.14,据彭博社引知情人士报道:?荷兰政府将出新规:未经政府同意,禁止ASML给大陆受限设备提供维护维修服务+供应备品备件。
?美国可能计划:—禁止ASML给大陆6家fab厂出口更旧款DUV。—禁止ASML给这6家fab厂受限设备提供维护维修服务+供应备品备件。#光刻机国产化刻不容缓若荷兰、美国新规出台,将对大陆先进制程产生较大影响。
?大陆2000i型号及以上的光刻机后续正常使用或受影响。
?大陆6家fab厂可能无法获得高端DUV(或包含1980Di)+已购买的高端DUV失去ASML维修等服务,其先进制程已有产线+扩产均会受到影响。光刻机国产化刻不容缓,我们坚定看好大陆光刻机产业链!#大陆光刻机产业链实现从0到1突破光刻机由光源、照明系统、投影物镜、工件台等部件组装而成,核心部件被海外厂商垄断,大陆厂商陆续实现从0到1的突破。
? 光源系统【科益虹源、福晶科技】
? 照明系统+投影物镜系统【国望光学、茂莱光学、腾景科技、炬光科技、福光股份、晶方科技】
? 工件台系统【华卓精科】
? 洁净系统【美埃科技】