1、光刻机整机

1）、张江高科：持股微电子10.779%的股份；

2）、上海电气：母公司为微电子第一大股东；

3）、东方明珠：通过间接持股微电子；

4）、奥普光电：长春光机所为公司实际控制人，长春光机所生产光刻机。

2、光源

（1）波长光电：光刻机平行光源系统；

（2）茂莱光学：精密光学器件已应用于国产光刻机；

（3）福晶科技：全球最大LBO、BBO非线性光学晶体生产商。

3、光学器件

（1）腾景科技：多波段合分束器已进入微电子供应链；

（2）苏大维格：向微电子提供光刻机用的定位光栅产品；

（3）炬光科技：提供光刻机曝光系统里面核心元器件光场匀化器；

（4）京华激光：控股国外公司在光刻机微结构光学方面实力较强；

（5）晶方科技：下属荷兰ANTERYON公司服务国际领先光刻机厂商。

4、洁净设备

（1）蓝英装备：精密清洗设备面向高端芯片制造行业企业客户；

（2）美埃科技：提供最高洁净等级标准的设备，国外企业供应商白名单；

（3）国林科技：产品用于CVD、ALD、晶圆清洗、污染物及光刻胶去除等工艺中。

5、温控

（1）海立股份：微电子装备集团的系统级合作商

（2）同飞股份：液体恒温设备应用于光刻机等领域的温度控制

6、物镜

赛微电子：光刻机厂商的MEMS透镜部件供应商。

7、控制器

电科数字：子公司可供货光刻机控制器。

8、结构件

金力泰：超微弧氧化技术可应用于光刻机设备零部件的表面处理；子公司是微电子供应商。

9、维修服务

东方嘉盛：提供光刻机寄售维修服务。