【国产光刻机相关个股】

- 张江高科：通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司持有装备（集团）股份有限公司约10.779%的股权。

- 上海电气：其母公司上海电气控股集团有限公司为装备公司第一大股东。

- 东方明珠：通过上海泰力间接持有2%股份，对的持股情况需穿透多层确认具体比例。

此外，在光刻机产业链的其他环节，也有一些相关上市公司：

- 福晶科技：涉及光学晶体等领域，是光刻机概念股之一，其产品曾间接供应 ASML，光场匀化器供货全球光学公司并应用于 ASML 核心设备。

- 奥普光电：被认为是 A 股市场中潜在的国产高端光刻机概念股，长春光机所是其大股东，与承担国家光刻机研发任务的国望光学存在关联关系。

- 波长光电：在光源方面有相关业务。

- 茂莱光学：涉及光学系统的研发和生产，可能与光刻机的光学系统相关。

- 赛微电子：在器件方面，与光刻机光源相关。

- 电科数字：涉及光刻机控制器。

- 蓝英装备：提供光刻机清洗配套服务。

- 美埃科技：从事洁净设备相关业务，为光刻机提供洁净环境支持。

- 苏大维格、炬光科技、腾景科技、京华激光、晶方科技：均涉及光学器件，是光刻机光学系统的组成部分。

- 富创精密、新莱应材、联合精密：提供光刻机结构件。

- 同飞股份、海立股份：涉及光刻机温控。

- 东方嘉盛：提供光刻机相关服务，将与国际头部芯片光刻机厂商合作，在深圳建设寄售维修保税仓库，为华南片区集成电路制造企业提供光刻机寄售维修服务。（帛熙望舒）