国产半导体量测设备龙头，打破海外长期垄断：

　　中科飞测是国产半导体量测设备龙头，相关量测设备已应用于国内28nm及以上制程的集成电路制造产线，所产主流机型成功填补国内空白，广泛应用于中芯国际、长江存储、士兰集科、长电科技、华天科技、通富微电等国内主流集成电路制造产线，打破国际巨头在质量设备领域对国内的长期垄断。公司检测设备自2017年通过下游知名客户验证后，产品迅速获得市场广泛认可，客户、设备销量的快速增长，2019-2021年度实现设备销售数量分别为32台、101台和108台，销售数量稳步增长。

　　半导体量检测设备是芯片良率重要保障，全球市场规模超百亿美元：半导体量测设备贯穿芯片制造的各个环节，是芯片良率的重要保障。从市场规模来看，全球前道量检测设备2021年市场规模114亿美元，在前道设备中市场规模仅次于光刻机、薄膜沉积和刻蚀设备。

　　海外巨头垄断前道量检测设备：根据semi数据统计，2020年全球量测设备市场上，KLA市占率51%，应用材料市占率12%，日立科技市占率9%，行业前五大公司合计市场份额占比超过了80%，全球市场高度集中。从国内市场来看，目前国内市场国产化率较低，2020年我国半导体前道量测检测设备国产化率约为2%，国产替代空间巨大。

　　量检测设备国产替代持续推进，潜力巨大；目前来看，国内在前道量检测设备已经实现了部分产品的突破，其中上海睿励主要聚焦于薄膜测量和尺寸光学检测设备；上海精测在膜厚产品、电子束、OCD量测等设备产品和相关技术实现了技术突破；中科飞测在无图形晶圆缺陷检测设备、图形晶圆缺陷检测设备、三维形貌量测设备系列具备较强竞争力，并获得了中芯国际、长电科技、长江存储等国内龙头客户订单，填补了国内量测设备市场的关键空缺领域。

　　投资建议：我们预计公司2023年~2025年收入分别为7.35亿元、11.54亿元、15.61亿元，归母净利润分别为1.01亿元、1.84亿元、3.33亿元。参考国内同行中微公司、拓荆科技、盛美上海和华峰测控2024年的平均PS11.10倍,考虑到目前量测设备国产化率远低于其他设备，给予公司2024年PS20.00X的估值,以总股本3.2亿股测算，预测2024年每股收入3.61元，对应目标价72.20元。安信证券