一、北方华创
北方华创是我国的半导体设备龙头企业，现有产品涉及ICP刻蚀、PVD设备、氧化扩散设备、清洗设备等。此外，公司的产品还包括真空设备、锂电材料设备以及精密电子元器件等，四大业务集群构成上市公司主体。其中半导体设备的营收占比2/3以上，是公司最重要的业务和最主要的估值逻辑来源。公司利用股权激励稳固人才基础，通过定增扩大资金来源，依靠客户在产品验证和故障处理方面的支持积累成熟经验，成功在部分领域打破国外垄断，并有望提升市场份额。

北方华创2020年年报：取预告中值，净利润累计同比增长68.3%，单季同比增长115.8%。从估值（市盈率）角度看，公司高于近十年75.51%的时间，高于半导体行业均值(90.57)。 若考虑业绩预告，市盈率为156.81，高于近十年68.39%的时间。股票当前价为164.25，机构目标均价为273.67，上涨空间66.62%。机构预测2021~2022年净利润增速为：46.8%和39.9%，成长性还是不错的。

二、中微公司
中微公司作为本土半导体设备领先企业，在刻蚀和MOCVD领域占据优势，积极布局高端产品，向封装、光伏等泛半导体领域延伸，扩大下游应用领域和客户群体，有望充分享受替代份额提升。公司技术积累深厚，部分技术已达国际标准，同时汇聚优秀人才与管理团队，客户资源优秀，持续开发高端新品，未来增长可期。

中微公司2020年年报：净利润累计同比增长161.0%，单季同比增长301.3%。从估值（市盈率）角度看，公司高于上市以来4.91%的时间，高于专用设备行业均值(30.27)。股票当前价为118.88，机构目标均价为198.85，上涨空间67.27%。机构预测2021~2022年净利润增速为：33.4%和32.0%，成长性还是不错的。

三、盛美半导体
盛美半导体主要从事半导体专用设备的研发、生产和销售，主要产品包括半导体清洗设备、半导体电镀设备和先进封装湿法设备等。公司坚持差异化竞争和创新的发展战略，通过自主研发的单片兆声波清洗技术、单片槽式组合清洗技术、电镀技术、无应力抛光技术和立式炉管技术等，向全球半导体制造、封装测试及其他客户提供定制化的设备及工艺解决方案，有效提升客户的生产效率、提升产品良率并降低生产成本。

盛美半导体2020年年报：每股收益1.03美元，归母净利润1878.00万美元，同比去年增长-0.6%。2020年9月30日，据上交所官网披露的科创板上市委2020年第82次上市委员会审议会议结果显示，同意盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称“盛美半导体”）首发上市。上市后股票名称为盛美股份。

[比心]  国内领先的半导体设备公司中，以北方华创、中微公司、盛美半导体为龙头标的分别在扩散、薄膜、刻蚀和清洗工艺有较深入的布局和技术储备。

[心]  其中，北方华创在扩散、薄膜、介质刻蚀和槽式清洗多产品线均有布局，目前公司重点放在 14nm 工艺设备上；中微公司在最先进的硅刻蚀技术有非常强的技术积累；盛美半导体的单片清洗工艺随着节点的推进也变得越来越重要。