MEMS全称Micro Electromechanical System，中文叫“微机电系统”。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器（执行器）和微能源三大部分组成。微机电系统为智能系统、消费电子、可穿戴设备、智能家居、系统生物技术的合成生物学与微流控技术等领域开拓了广阔的用途。常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器等以及它们的集成产品。目前国产MEMS（微机电系统）代工龙头是赛微电子（原名耐威科技）。赛微电子在19年成功收购瑞典的Silex公司后成功进入MEMS芯片制造的赛道，大大的提升公司在 MEMS 传感器领域的综合实力，打造更加完整的导航产业布局，成为国产MEMS（微机电系统）代工巨头。Silex 拥有优秀的MEMS（微机电系统）产线运营的核心技术团队，目前Silex在继续扩大欧洲、北美市场份额同时还在积极开拓巨大的亚洲市场。在收购了Silex之后，赛微电子开始在北京打造其国内代工产线。目前北京MEMS（微机电系统） 产线的设备主要从荷兰、美国、日本等知名半导体设备厂商采购，一期产能所需工艺制造 设备均已全部完成了搬入工厂并正在加紧安装，2020年内尽快实现产线的试生产及正式运转。