管理 光刻机供应链梳理及最新核心龙头概念股一览！

1、英诺激光：由公司牵头的“高功率薄片超快激光器关键技术与产业化”项目启动会在深圳召开。该激光技术涉及的大能量、高重频超快激光是支撑EUV光源预脉冲的核心技术。

2、海立股份：控股子公司海立特冷有销售光刻机用冷却系统，该业务规模较小。

3、赛微电子：在MEMS领域，公司服务的客户已包括继续服务全球光刻机、DNA/RNA测序仪等领先企业。

4、福晶科技：公司曾通过欧洲代理向ASML提供及其少量光学元件，控股子公司福创光电开展衍射光学元件研发、生产，衍射光学元件是光刻机中有系列可动的镜片，主要用于产生光刻所需要的光源。

5、茂莱光学：公司的DUV光学透镜供货。公司主要产品覆盖深紫外DUV，在光刻机零部件中，K系晶体主要用来制造深紫外激光器，而光刻机就是深紫外激光器的高端应用市场。

6、腾景科技：公司是WSS模块中精密光学元组件的主力制造商。公司合分束器项目应用于光刻机光学系统，可满足国产替代进口的需求。

7、炬光科技：公司拟收购SMO光子公司。公司将弥补光刻-反应离子刻蚀、纳米压印、衍射微纳光学等技术。

8、晶方科技：公司荷兰子公司Aneryon公司的光学器件产品主要用于光刻机半导体设备、工业自动化等应用领域，AMSL是其服务的客户之一。

9、奥普光电：公司控股股东中科长春光机所承担EUV光刻机研发任务，已取得包括核心光源系统在内的多项突破。公司目前公司加工500mm口径球面透镜表面粗糙度优于0.5纳米。

10、波长光电：公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。在激光检测和测量方向，公司产品目前已进入半导体光刻领域配套检测产业。

11、富创精密：公司是国内少有的能够提供提供满足甚至超过国际主流客户标准的精密零部件产品的供应商。公司产品性能达到主流国际客户标准，已进入客户A、东京电子、ASML等全球半导体设备龙头厂商供应链体系。

12、新莱应材：公司在半导体核心的表面处理上工艺先进、通过国际半导体设备龙头厂商的审核等优势凸显。公司真空产品和气体产品均可以应用到光刻机的设备中，客户中已经包含光刻机设备的制造商。

13、美埃科技：公司为国内外的半导体制成大厂供应FFU、高效/超高效过滤器、化学过滤器等产品，用于保障半导体制成大厂历代产品线对空气洁净度的要求。公司目前在国内半导体洁净室领域居行业地位。

14、电科数字：公司子公司柏飞电子为半导体装备生产商提供光刻机的控制器，向装备集团提供了多种国产化计算和控制模块和系统。